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        多孔質吸附盤
        多孔質吸附盤(Porous Chuck)是一種表面布滿氣孔的陶瓷吸附盤,一般使用AL2O3和SIC材質。用于晶圓及玻璃的吸附、氣浮和搬運。

        吸附示意圖?

        特長
        陶瓷底座與多孔質陶瓷整體燒結
        能夠吸附超薄物體,且平面度達到5~10um
        根據客戶要求訂制
        耐熱高,可達1000℃
        氣孔徑可達15um
        高倍顯微鏡下傳統工藝圖
        高倍顯微鏡下整體燒結工藝圖LBM
        用途: 切割設備 研磨設備 激光退火設備 FPD