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        多孔質吸附盤
        多孔質吸附盤（Porous Chuck）是一種表面布滿氣孔的陶瓷吸附盤，一般使用AL2O3和SIC材質。用于晶圓及玻璃的吸附、氣浮和搬運。
        

        

        

        


         
        


        


        


        吸附示意圖?
        

        

        

        


         
        


        


        


        特長
        陶瓷底座與多孔質陶瓷整體燒結
        能夠吸附超薄物體，且平面度達到5~10um
        根據客戶要求訂制
        耐熱高，可達1000℃
        氣孔徑可達15um
        

        高倍顯微鏡下傳統工藝圖
        

        高倍顯微鏡下整體燒結工藝圖（LBM）
        

        用途： 切割設備 研磨設備 激光退火設備 FPD