搜索
名稱
描述
內容
簡體中文
English
首頁
產品信息
光通訊器件
半導體設備器件
工業精密陶瓷
企業信息
公司概要
聯系方式
人才管理
新聞資訊
公司新聞
行業動態
.
,
首頁
>>
產品信息
>>
半導體設備器件
>>
多孔質吸附盤
您當前所在的位置:
產品信息
.
光通訊器件
WDM器件
PLC
TAP PD Array
半導體設備器件
真空吸附盤
靜電吸附盤
多孔質吸附盤
高精密固定平臺
光學部件
等離子噴涂
工業精密陶瓷
陶瓷熒光體
可加工玻璃陶瓷
多孔質吸附盤
多孔質吸附盤
(Porous Chuck)是一種表面布滿氣孔的陶瓷吸附盤,一般使用AL2O3和SIC材質。用于晶圓及玻璃的吸附、氣浮和搬運。
吸附示意圖
?
特長
陶瓷底座與多孔質陶瓷整體燒結
能夠吸附超薄物體,且平面度達到5~10um
根據客戶要求訂制
耐熱高,可達1000℃
氣孔徑可達15um
高倍
顯微鏡
下傳統工藝圖
高倍顯微鏡下整體燒結工藝圖
(
LBM
)
用途:
切割設備 研磨設備 激光退火設備 FPD