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真空吸附盤(Pin Chuck)
真空吸附盤主要運用于半導體前后道設備上,在制造和加工過程中對晶圓進行固定,同時也可運用于晶圓檢測設備。
產品優勢
1.可提供:2ch……12inch、18inch
2.高可靠性,高平整度
18inch可以做到0.1745μm
3.獨特的整體拋光技術減少Partical
4.可根據晶圓面型進行定制
技術介紹
:
平面度≤0.1 μm,整體平整度≤0.3μm