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        真空吸附盤(Pin Chuck)
        真空吸附盤主要運用于半導體前后道設備上，在制造和加工過程中對晶圓進行固定，同時也可運用于晶圓檢測設備。
        

        

        

        


         
        


        


        


        產品優勢
        1.可提供：2ch……12inch、18inch
        2.高可靠性，高平整度18inch可以做到0.1745μm
        3.獨特的整體拋光技術減少Partical
        4.可根據晶圓面型進行定制
        

        

        

        


         
        


        


        


        技術介紹：平面度≤0.1 μm，整體平整度≤0.3μm