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        靜電吸附盤

        靜電吸附盤(ESC)是對內置金屬電極外施壓力,被吸附物和靜電吸盤的表面產生正負電荷,通過正負電荷產生的靜電力固定被吸附物。

        一體燒結型
        1.耐等離子性能好 
        2.在高溫域也可使用 
        3.也可加熱器一體化 
        4.通過再加工,可修復。
        溶射型
        1.相對一體燒結ESC有價格優勢。 
        2.因溶射膜和基材的熱膨脹系數不同,不適合在高溫下使用 
        3.基材可修復
        樹脂型
        1.價格有競爭優勢
        2.耐等離子性能較弱 
        3. 因材質的特性,不適合在高溫下使用
        ALN材質ESC優勢
        ALN材質可采用接合技術對陶瓷中空部位和陶瓷軸進行安裝
        通過控制ALN的體積電阻率,可獲得大范圍溫度分布和充分的吸附力。