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靜電吸附盤
靜電吸附盤(ESC)是對內置金屬電極外施壓力，被吸附物和靜電吸盤的表面產生正負電荷，通過正負電荷產生的靜電力固定被吸附物。
一體燒結型
1.耐等離子性能好
2.在高溫域也可使用
3.也可加熱器一體化
4.通過再加工，可修復。
溶射型
1.相對一體燒結ESC有價格優勢。
2.因溶射膜和基材的熱膨脹系數不同，不適合在高溫下使用
3.基材可修復
樹脂型
1.價格有競爭優勢
2.耐等離子性能較弱
3. 因材質的特性，不適合在高溫下使用
ALN材質ESC優勢
ALN材質可采用接合技術對陶瓷中空部位和陶瓷軸進行安裝
通過控制ALN的體積電阻率，可獲得大范圍溫度分布和充分的吸附力。
